六、高分辨光路測試


Hybrid光路模塊提供高分辨率光路,可對樣品進行搖擺曲線、Phi掃描、XRR及二維倒易空間圖RSM(Reciprocal Space Mapping)測試。

——單晶測試需提供測試面晶面信息、晶面的d值或者2Theta角度;

——Phi掃描需要指明樣品法向d值或者角度,法向與所測面的夾角;

——RSM測試需要指明法向d值或者2theta角、測試面的d值或2theta角及測試面和法向面的夾角大小信息。